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设备名称 |
1300*1500光学镀膜机 |
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真空室 |
SUS304, |
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工件架转速 |
10rpm to 30rpm(可变) |
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光学膜厚控制 |
HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 |
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石英晶振膜厚计 |
XTC/3+6点式石英晶体传感器 |
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蒸发源 |
电子枪 |
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离子源 |
23cm离子源 |
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抽气系统 |
机械泵，扩散泵或分子泵，罗茨泵等 |
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